平台主要围绕以功能薄膜为核心的光学薄膜器件、电子信息材料薄膜元器件的工艺研发，可为光学、电子信息材料产业提供薄膜元器件的真空制备工艺、膜系结构、以及小批量中试服务，也可以开展抗腐蚀等其他薄膜应用研发。平台主要包含以下设备：（1）TRP450磁控溅射镀膜机和ZHD300高真空电阻热蒸发镀膜机，主要用于功能薄膜材料的样品制备；（2）吉时利2611B型高功率数字源表和PerkinElmer Lambda950紫外可见近红外分光光度计，主要用于光电薄膜材料的电学特性分析和光学性能检测；（3）图形工作站和多物理场仿真软件，主要用于光电薄膜材料的功能模拟及设计。平台目前在研广东省教育厅科研项目3项，省科技计划项目1项，与广东富源科技有限公司合作省科技计划项目1项。